二手 SEZ / LAM RESEARCH DV PRIME #293754190 待售

SEZ / LAM RESEARCH DV PRIME
ID: 293754190
晶圆大小: 12"
优质的: 2011
Etcher, 12" (8) Chambers 2011 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH DV PRIME是一款先进的蚀刻和灰化设备,它结合了蚀刻技术的最新进展和专用的精密灰化和去处理应用平台。SEZ DV PRIME采用时尚、现代的设计,是一款全自动、高性能的Asher,可为各种晶圆处理提供快速、可靠和可重现的效果。LAM RESEARCH DV PRIME提供了多种具有蚀刻能力的选项,包括高频、KOH和H2O2等。系统高效的工艺技术最大限度地提高了产量和生产率。腔室的清洁处理特性提供了快速、可靠和可重现的结果。该装置先进的腔室控制技术保证了精密的蚀刻浓度和温度。DV PRIME专为高精度、客户端定制的流程应用程序而设计。机器的内置智能控制器允许灵活的流程优化,使客户能够根据自己的特定流程需求调整配方参数,如压力、温度、气体浓度和蚀刻速率。此外,腔室的高精度温度控制提供了最终的过程稳定性。SEZ/LAM RESEARCH DV PRIME的高级自动化选项为用户提供了易于配置、灵活的工具。单位直观的软件有一个集成的显示屏,允许操作员直接监视、编辑和控制他们的配方。该资产还可以与机器人臂集成,用于自动处理样品,从而实现最大吞吐量。SEZ DV PRIME是一个高度先进的模型,在蚀刻和灰化过程中提供最佳性能和可靠性。其先进的工艺技术确保精确的蚀刻浓度和温度,同时还提供灵活性和自动化选项,以适应大量的工艺应用。该设备是研究和生产场所的理想解决方桉。
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