二手 SEZ / LAM RESEARCH DV PRIME #293754191 待售

SEZ/LAM RESEARCH DV PRIME是一种最先进的蚀刻器/asher设备,旨在为高长宽比处理应用程序提供卓越的工艺能力。它是先进技术节点的理想选择,例如3D IC、MEMS、高级逻辑和溷合模式应用程序。该机配备了大型的、4英寸的热室设计，提供了更大的体积吞吐量能力，减少了循环时间。通过在整个腔室内安装光学和其他工艺控制反馈装置来保持高精度，从而能够精确控制工艺参数。它还具有多种工艺模式，以适应一系列蚀刻和灰化应用，包括高密度各向同性蚀刻、高选择性蚀刻和多级蚀刻。该系统还配备了两个独立的高端调制器----与传统的单场调制器相比，SEZ/LAM SEZ DV PRIME的多场调制能力在蚀刻和灰化过程中实现了更高水平的特征级精度。此外,先进的模煳逻辑PID控制、原位角度控制和反应性蚀刻等独特功能可实现更高程度的过程控制和精度。LAM RESEARCH/LAM LAM RESEARCH DV PRIME除了具有先进的蚀刻和灰化功能外,还可以灵活地配置流程,从而实现更高级别的优化配方,从而获得理想的效果。此外,它的原位射频匹配模块有助于确保每个周期的匹配成功,并便于快速、方便的配方定制和微调。总体而言,SEZ/LAM RESEARCH/LAM DV PRIME是一个先进的多功能蚀刻器/asher单元,专为高长宽比蚀刻和灰化应用而设计。它独特的处理能力、过程控制和灵活性相结合，使其成为一系列高级应用的理想机器，如3D IC、MEMS、高级逻辑和溷合模式技术。