二手 SEZ / LAM RESEARCH DV PRIME #9211223 待售

SEZ/LAM RESEARCH DV PRIME是为各种材料的高通量处理而设计的先进、高度可靠且成本效益高的蚀刻器/asher。它为各种沉积、蚀刻和灰化工艺步骤提供了一个集成的解决方桉。蚀刻器/asher配备了功能强大、中频、脉冲、多频射频电源、寿命长的腔室以及自动化的过程控制和监控。SEZ DV PRIME可以蚀刻和粉刷各种晶圆尺寸,从200 mm到450mm。它还有一个多用途腔室，能够进行多层次的处理。该腔室可配备多种蚀刻化学物质，如氧、氯、氟、SF6和NF3，以及广泛的基材材料，如硅、氧化硅、氮化物、聚硅、砷化​​氙、氙和铜等。自动化的过程控制和监控功能减少了蚀刻时间,并允许可重复的过程结果。腔室采用风扇冷却，并配有各种各样的上下电极配置，为独特的工艺需求提供了设计灵活性。该室还有一个低负荷温度监测仪、一个压力监测设备和一个用于输送可选气体的气泡系统。惰性气体可用于安全。该室还有一个可编程的流动气体控制单元和一个4通道温度控制器，其最低可达到温度为-20°C。该机器的设计符合适用的安全标准，包括CE认证和ANSI认证。LAM RESEARCH DV PRIME 蚀刻器/asher是一种可靠且用途广泛的蚀刻和灰化解决方桉,可满足各种大容量加工需求。它灵活、自动化的过程控制和监控功能可以减少蚀刻时间并提供可重复的过程结果。其风扇冷却室和可定制的上下电极配置提供了高精度的蚀刻和灰化能力，使其适合多种基板。其惰性气体安全工具提高了操作的可靠性和安全性。该资产的设计符合适用的安全标准。