二手 SEZ / LAM RESEARCH ES-34 #9224052 待售

SEZ/LAM RESEARCH ES-34是一种蚀刻/粉碎器设备,旨在使工程师和研究人员能够在各种材料上创建详细而精确的图桉。SEZ ES-34系统利用反应性离子蚀刻技术，利用惰性气体（如氮（N2）、氢气（H2）或氙气（AR））以及蚀刻剂（如CF4、CHF3或C4F8）的组合来创建所需的模式。蚀刻剂被送入工艺室，在其中产生等离子体，导致蚀刻过程发生。LAM RESEARCH ES-34主要由三个部分组成：电源、真空室和工艺室。电源产生高压低频，用于产生引发蚀刻过程的等离子体。真空室用于保持单元内部的环境无污染物，而工艺室则是实际蚀刻发生的地方。该工艺室装有百叶窗和石英门，以防止污染进入该室。为了确保将所需的图样精确地蚀刻到材料中，ES-34台机器利用微波等离子体源，能够产生200°C-400°C的一系列蚀刻温度。该工具还具有集成的质量流控制器，使操作员能够精确控制输送到工艺室的蚀刻量。SEZ/LAM RESEARCH ES-34资产比替代蚀刻系统具有多种优势。它具有高分辨率气体分布模型,以确保蚀刻剂在整个处理表面均匀分布,从而实现预先确定的蚀刻模式和对结果的更大控制。该设备还提供良好的过程控制，具有综合监测和报告能力，能够蚀刻各种材料。此外,经济特区的ES-34成本效益很高,可为更大的蚀刻需求提供可扩展的解决方桉。总体而言，LAM RESEARCH ES-34系统是一个高效率且经济实惠的蚀刻/粉刷装置，提供高精度和控制。它是工程师和研究人员的宝贵工具,非常适合广泛的应用。