二手 SEZ / LAM RESEARCH FM 202 #9226924 待售

SEZ / LAM RESEARCH FM 202
ID: 9226924
晶圆大小: 8"
Backside HF cleaner, 8".
SEZ/LAM RESEARCH FM 202 蚀刻器/asher是一个先进的、高精度的处理空间,配备了最先进的设计。这种单片加工工具占地面积小,非常适合广泛的生产和研究应用。SEZ FM 202 蚀刻器/asher的设计紧凑,配备9英寸、300毫米或400毫米晶圆托架,集成洗涤器,以及功能齐全的控制设备。它有一个完整的周界屏蔽,以尽量减少溶剂化和颗粒污染物。它还具有从单个入口操作员界面自动填充和排出的功能,并通过完整的诊断套件实现闭环处理。LAM RESEARCH FM 202 蚀刻器/asher为各种蚀刻和灰化应用程序提供了准确、自动化和可重复的过程。它还能够在高纵横比蚀刻等关键过程应用程序中执行高价值的过程。通过其先进的技术,FM 202确保了优越的蚀刻均匀性和特性控制。SEZ/LAM RESEARCH FM 202拥有业界最先进的过程控制系统之一。它提供了一个复杂的实时监控系统,以确保任何应用程序的最佳处理,并提供直观的点上信息以加快和简化生产。该单元易于适应客户的特定需求,可以定制以集成用户的流程首选项。SEZ FM 202 蚀刻器/asher也有出色的安全特性。它旨在应对各种最具挑战性的环境,并符合安全法规。经UL 1604认证,CSA上市,CE批准。LAM RESEARCH FM 202以其专用的火控机器、高升降安全门、超大型的腔室,提供了安全可靠的蚀刻体验。FM 202 蚀刻器/asher是各种蚀刻和灰化应用的理想选择。它提供卓越的性能,确保准确的过程控制,并具有高级安全功能,以实现安全、高效的操作。
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