二手 SEZ / LAM RESEARCH MCM 203 #9387804 待售
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ID: 9387804
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
Spin etcher, 8"
With spare parts
Single wafer wet chemical spin processor
Manual loading and unloading wafers
Graphical User Interface (GUI)
Single process chemical tank
With filter housing and fully automated
Chemical temperature controlling
With heat exchanger
(16) Process steps
PC Controller
Does not include cassette option
Power supply: 208 V, 50/60 Hz, 13 A
2001 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH MCM 203是一种先进的蚀刻/灰化设备,能够同时产生高精度、精确和可重复的结果。该系统通过为蚀刻/灰化工艺提供经济高效的解决方桉来满足集成电路（IC）制造商的需求。该设备的占地面积为1630 x 580mm,具有425 x 425mm的标准最大版面尺寸。SEZ MCM 203利用特殊的多化学机械磨料机蚀刻和图样集成电路，采用磨料作用和机械洗涤的三级工艺来塑造材料层。通过精确的接触控制、低功率设置和受控的加速度来确保刀具在整个板表面的均匀性,从而提高吞吐量和产量。该资产配备了抗腐蚀的ALD/CVD等离子体脉冲模型，用于薄膜蚀刻和光刻粉刷，而LAM RESEARCH MCM 203也提供晶圆清洗的选择。该设备在低至6毫巴的真空范围内工作，可在可控污染的烘烤温度下加速至500米/秒。MCM 203采用9KW风冷射频发生器系统设计,可在各种基板上快速重复晶圆成像。SEZ/LAM RESEARCH MCM 203是一款顶级的蚀刻器/asher,旨在满足大批量生产需求。该单元包括自动灭火器、警报机、联锁等强大的安全功能。它以顶级材料进一步构造，包括不锈钢、镀银铜、酚醛环氧板。该工具得到了知识渊博的技术人员的全面支持,他们可以在发生故障时提供操作提示和故障排除。
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