二手 SEZ / LAM RESEARCH RST 100-6 #293747989 待售

SEZ/LAM RESEARCH RST 100-6是一种用于半导体工业的蚀刻器/asher。它是一种中高容量的设备，能够以高达10微米的分辨率每小时处理多达250个基材（晶片）。该系统非常适合快速原型设计、中低体积和合同处理需求。该单元使用保形钨惰性气体（TIG）屏蔽，用于反应性离子或磁控管溅射，以蚀刻和澹化底物。TIG屏蔽为用于等离子体增强加工的反应性气体提供了均匀的等离子体环境。蚀刻器/粉碎器还具有一个低压工艺室，该室支持具有高水平溅射沉积的工艺。腔室压力可以从0.2 torr调整到5 torr，允许使用包括高速率反应性离子蚀刻（HI-ReI）、低压化学气相沉积（LPCVD）和表面钝化等多种工艺。该蚀刻器包括一个四区基材翻译机，它可以处理几乎任何大小或外形尺寸的晶圆。它还具有高性能的基板加热器，在整个基板尺寸上提供均匀的溅射沉积。加热器可设置为最高500 °C （932 °F）的温度,从而确保获得所需的附着力和蚀刻特性。蚀刻器/asher具有先进的控制工具和通信接口,使其能够满足苛刻的高通量生产要求。它有一个集成的设备，用于监视和调整工艺室内的温度和压力，以及一个嵌入式的基于Windows的CIM接口，用于访问和配置资产的参数。除了其高性能特性外，SEZ RST 100-6还提供多种安全特性，包括消除可燃气体的氮气净化模型、灭火设备和紧急关机特性。这确保了该系统安全运行，并能够保护人员和设备免受潜在危害。这种蚀刻器/asher是大批量生产、原型制作和合同处理的绝佳选择,因为它的精确蚀刻和灰化能力提供了卓越的质量效果。其用户友好的界面、安全特性和尖端溅射技术使其成为任何蚀刻或灰化工作的绝佳选择。