二手 SEZ / LAM RESEARCH RST 100-6 #293830231 待售

SEZ/LAM RESEARCH RST 100-6是一种先进的蚀刻器/asher设备，适用于半导体器件制造的金属化工艺。该系统非常适合大批量生产应用程序以及需要精细、详细的生产线工作和模式定义的应用程序。SEZ RST 100-6设计用于200 mm x 200 mm的基板加工，默认特征尺寸为0.35 um，可调至0.20 um。提供的高分辨率电阻电平允许在Si、SiO2、多晶硅、铝和氧化铝上蚀刻细纹。该单元包括一个石英或陶瓷敏感器室，有一个石英或陶瓷Cl2/O2源，用于蚀刻光敏抗蚀剂和其他材料。LAM RESEARCH RST 100-6采用低压、低温工艺，产生干净、高分辨率的线条，不会将材料附着在侧壁上。该机器提供精确的温度和臭氧控制，以及为提高吞吐量而对平板进行伽马暴露。该工具还包括低压和低压过程,可将整个过程减少多达10%。该资产具有很高的流程一致性,可用于需要最小化的应用程序。此外，该模型还提供综合视觉技术，允许实时监测和在线晶片选择最佳晶片，提高准确度，减少浪费。RST 100-6使用集成计算机辅助制造（ICAM）设备软件进行控制,允许从任何工作站对系统进行联网控制。总体而言,SEZ/LAM RESEARCH RST 100-6 蚀刻器/asher是一种高精度、自动化的设备,专为满足高容量和长期生产需求而设计,降低了与金属化工艺相关的成本,非常适合许多半导体器件制造应用。