二手 SEZ / LAM RESEARCH RST 100 #9161499 待售

SEZ/LAM RESEARCH RST 100 Etcher/Asher是一种半自动的asher/Etcher设备,用于在生产运行中对材料进行蚀刻和灰化。它采用4英寸乘8英寸的腔室设计，可以处理包括芯片、玻璃、铜、PCB板在内的多种材料。SEZ RST 100每次运行最多可处理50个晶圆,每个晶圆的吞吐量时间少于5分钟。LAM RESEARCH RST 100设计采用高速、低压、无油、无污染的蚀刻系统。该设备采用带有液晶显示屏的个人计算机（PC）来控制蚀刻和灰化时间、温度和腔室压力。该机器还具有自动提升功能，可以将晶片从蚀刻器/灰化器传输到下一个过程，从而实现晶片的快速处理。RST 100具有卓越的工艺配方控制和验证功能,可用于改进工艺监控。此工具具有先进的热轮廓控制,允许在整个腔室中均匀分布温度,并具有均匀的蚀刻和灰化结果。工艺温度范围为25°C至525°C，压力高达25 Torr。SEZ/LAM RESEARCH RST 100还设计了一个可靠且易于使用的用户界面,可轻松分批对晶片进行单独编程,并具有用于安全功能的密码保护资产。其他特点包括多级真空控制、可编程运行结束通知、可恢复关闭模型；允许使用新配置的参数再次启动进程。此外，SEZ RST 100拥有出色的安全设备，包括内置的电源故障保护、超压保护系统、带有超压和超真空传感器的化学安全壳装置以及氨检测机。LAM RESEARCH RST 100是蚀刻和灰化工艺的绝佳选择,它提供了一种易于使用的基于PC的工具,具有精确的温度和压力控制、可靠和安全的密码保护、出色的安全功能以及自动晶圆传输功能。RST 100具有先进的工艺控制和验证功能，是一种高效蚀刻和粉刷材料的可靠解决方桉。