二手 SEZ / LAM RESEARCH RST 101 #293652611 待售

SEZ/LAM RESEARCH RST 101是一种高温蚀刻/灰分设备,旨在提供各种应用中的最佳蚀刻和灰分结果。该系统利用最新的射频和直流技术来实现最佳性能和易用性。该装置设计用于在一个腔室中处理多达三个晶片，包括一个能够一次处理多达三个基板的装载站。SEZ RST 101具有分段加热区,可精确控制蚀刻/灰烬参数。温度可设定在60°C至110°C之间，有可调节的气流和压力以及可调节的反应室大小。这台机器允许高度选择性的蚀刻和灰化,具有一贯的高质量的结果.LAM RESEARCH RST-101还采用了一种独特的"多过程"控制工具，该工具允许选择最多7种蚀刻/灰烬组合。此资产允许用户在不同进程之间快速切换,而无需重置参数或重新开始新的设置。此外,该模型为用户提供了对预先编程的蚀刻/灰分配置文件库的访问权限,从而进一步简化了流程。最后，RST-101附有一个软件包，可用于监测和调整参数和化学选择。对于需要进行后蚀刻清理的晶片,SEZ/LAM RESEARCH RST-101包括一个内置的自旋漂洗干燥机,能够以高达1200 RPM的速度运行。该单元还具有一系列选项,可实现更大的过程控制和灵活性。LAM RESEARCH RST 101是任何需要精确蚀刻/灰化结果的应用的理想选择。使用方便，效果突出。此外,设备还采用了一系列高级功能,可精确控制流程,帮助确保用户获得所需的确切结果。