二手 SEZ / LAM RESEARCH RST 101 #293753979 待售

SEZ / LAM RESEARCH RST 101
ID: 293753979
晶圆大小: 4"-8"
Spin etcher, 4"-8" Single chamber.
SEZ/SEZ/LAM RESEARCH RST 101是一种最先进的蚀刻/asher设备,提供热和化学辅助蚀刻工艺,使复杂蚀刻结构的制造更加精确。该系统提供了一个高度控制的自动化平台,用于蚀刻和灰化过程。热蚀刻工艺是干蚀刻的一种形式,利用热量从基板表面去除材料。可以调节气体的温度和压力,提供精确的蚀刻效果。在过程中,可以精确控制蚀刻速率以达到所需精度。化学辅助蚀刻工艺是结合蚀刻技术和化学反应工艺的电化学工艺。这一过程允许对具有精确深度和角度的结构进行蚀刻,使其成为生产先进结构的理想之选。该单元还具有进行高分辨率化学蚀刻的能力,具有优越的平面化和剖面化。SEZ RST 101机配备了先进的软件套件,旨在优化蚀刻参数以确保最佳效果。此程序允许用户测量蚀刻速率、选择性和蚀刻深度。它还提供了增强的诊断工具来防止蚀刻绑扎,这会导致结果不均匀。该工具适用于广泛的蚀刻应用,包括但不限于创建微电子封装、半导体元件和显示器,以及生产MEMS和NEMS器件。它的自动化低维护设计为用户提供了一个可靠的平台,可用于各种流程,并提供卓越的性能。总体而言,LAM RESEARCH/LAM RESEARCH RST-101 蚀刻器/asher资产是一种先进的蚀刻/灰烬处理工具,能够提供卓越的蚀刻精度和精确度。其先进的软件套件允许精确的参数优化,其自动化、低维护的设计使得它成为生产各种蚀刻结构的理想选择。
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