二手 SEZ / LAM RESEARCH RST 101 #293814149 待售

SEZ/LAM RESEARCH RST 101是用于半导体晶圆处理应用的专用蚀刻/灰化设备。该系统旨在提供精确的表面制备,提供最高质量的蚀刻/灰分工艺。采用易于使用的集成设计,SEZ RST 101是满足生产需求的理想选择。LAM RESEARCH RST-101的核心部件是其室内设计，这在蚀刻/灰烬系统中是独一无二的。它具有较大的加热区和风冷升压装置，使该装置具有较高的温度灵敏度和精度。此外，它的多级温度控制允许细小颗粒被蚀刻或粉刷而不会对过程产生负面影响。此外，LAM RESEARCH RST 101还配备了催化剂级涡轮分子泵和机械粗加工泵，提供了较高的泵送速度和精确的过程控制。这使得精确的可变压力气体蚀刻/灰烬能够使用适用于许多材料的一系列气体来执行。清洁、密封的机器还能确保蚀刻/灰分过程中的电路完整性，超细颗粒分离额定值为99.9999%。为满足制造需求,经济特区RST-101提供了一系列强大的功能。它配有用于等离子体蚀刻/灰分工艺的内置基板射频发生器、用于计量的端点检测工具以及用于在蚀刻/灰分过程中防止氧化的惰性气体屏蔽装置。该资产还提供了业界最高的精度,能够以2 µm ±的精度蚀刻/灰烬特征。为了确保安全，RST 101配备了一种先进的警报模型，可用于监测外部状况，以及一种化学安全设备，用于监测橱柜的装卸情况。还通过真空监测器和压力传感器提高了系统的安全性，该传感器可监控工艺参数并在必要时向操作员发出警报。最后，RST-101是工业应用的理想蚀刻/灰分单元。其先进的腔室设计、精确的可变压力气体蚀刻/灰烬、坚固的功能和集成的安全系统使其成为满足生产需求的有吸引力的选择。SEZ/LAM RESEARCH RST-101具有无与伦比的精确度和在清洁环境中加工的能力，是许多半导体制造工艺的组成部分。