二手 SEZ / LAM RESEARCH RST 101 #9099677 待售

SEZ/LAM RESEARCH RST 101是一种等离子体蚀刻器/灰化器，旨在为业界领先的等离子体增强化学气相沉积（PECVD）和干蚀刻应用提供高性能处理。该装置最大工艺室尺寸为8立方英尺，具有处理大小长宽比晶片基板的能力。利用最新的蚀刻器/asher技术,SEZ RST 101能够实现其规模级别的最高吞吐量。它具有高效、体积小的工艺室、高效的气流输送系统和可调节的工艺窗口。它旨在在蚀刻过程中将反应产物冲洗出底物，从而提高精度和精确度。为用户提供了强大的灵活性,使其能够为大小晶片基板创建自定义配方。LAM RESEARCH RST-101 蚀刻器/asher配有集成的诊断包和软件,旨在提供有关晶圆蚀刻过程的详细反馈。它配置了高级自动化功能,可根据流程条件自动调整交付、一致性和其他方面。该系统可定制运行各种蚀刻，包括各向同性和各向异性蚀刻、定向蚀刻、选择性硬掩蔽和薄膜堆栈应用的特殊蚀刻。此外,蚀刻器/灰化器可用于在晶片表面创建保护性涂层或层,以保护表面不受污染物污染并提高设备性能。RST-101 蚀刻器/asher设计为在具有ISO 5等级的清洁室环境中操作。它具有多种确保最高安全标准的功能，如电子柜、E-stop按钮、互锁和工艺室压力监控。该装置还有一个激光源控制系统，可用于精确控制激光的功率和持续时间，以确保产品质量不变。综上所述，SEZ/MySEZ RST-101 蚀刻器/asher是一种高性能、可靠的器件，可用于精密、精密地蚀刻和粉刷大小纵横比晶片。它配备了确保高度安全的最新功能，以及根据工艺条件调整交付、均匀性等方面的先进自动化功能。蚀刻器/asher还具有创建定制配方以及在晶圆表面上创建保护性涂层的能力。它配置为在具有ISO 5等级的清洁室环境中运行。LAM RESEARCHY/My LAM RESEARCH RST 101 蚀刻器/Asher具有高性能,是半导体行业应用的理想设备。