二手 SEZ / LAM RESEARCH RST 201-8/6 #9394342 待售
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SEZ RST 201-8/6是一种蚀刻器/asher，用于生产半导体器件。它由LAM RESEARCH制造，LAM RESEARCH是一家跨国公司，专门生产和分销蚀刻/灰烬和其他半导体设备。该模型设计用于去除半导体晶片表面的材料薄层，如图样蓝宝石基板。这是一种湿蚀刻设备，利用化学溶液将晶片蚀刻到所需的形状和大小。SEZ/LAM RESEARCH RST 201-8/6具有全自动的计算机控制系统，具有液晶触摸屏界面和用于设置参数和控制蚀刻过程的高级软件。它可以被编程为在广泛的温度范围内蚀刻，蚀刻速率可以在过程进行中进行调整。该单元包括一个用于在蚀刻前清洗晶片的背面洗涤器，以及一个气体分销商来控制氯的生产以进行额外的蚀刻。蚀刻本身在圆形腔室中进行，其中晶圆在蚀刻过程中旋转。腔室本身由两个旋转的盖子组成，晶圆围绕一个中心轴旋转。使用激光束焊接关闭腔室进行维护工作。此外,RST 201-8/6还配备了传感器,用于检测可能发生的任何泄漏或事故。SEZ RST 201-8/6能够蚀刻直径达8英寸的晶片，一次的吞吐量可达8个晶片。它的归一化蚀刻速率为6nm/min,但根据所蚀刻的材料和激光的功率输出,该速率可以提高到30nm/min。此外,该机器还能够处理小型试运行和大型生产运行。LAM RESEARCH RST 201-8/6可用于多种应用，从最小线宽0.1微米的图样基板到创建复杂的3D形状。它是一种可靠、经济高效的工具，可用于各种半导体制造工艺。
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