二手 SEZ / LAM RESEARCH RST 201-8/6 #9399478 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 9399478
Spin etcher
Missing parts:
ECO Left and right
Chuck
Elevator
Spindle
Dispenser
Power panel on the left side
Heat exchanger
Pump in CDS
Boards in CDS host
Valve in CDS
Filter in CDS
PC Board
N2 Arm
DI Arm
Suckback module.
SEZ RST 201-8/6是一款先进的蚀刻/asher设备，设计用于执行各种蚀刻、灰化和清洗过程。该系统非常适合需要高精度和重复性的应用。该RST201-8/6包括一个真空室、一个用于加工气体的主要源、一个用于真空室的控制单元、一个用于主要源的控制器以及一系列用于高度选择性蚀刻的溅射源。真空机是LAM RESEARCH RST201-8/6整体性能的组成部分。该工具能够在0.6 Torr的最大压力下维持10-4 Torr的操作真空水平。这样可确保流程条件随时间保持一致,从而确保更好的性能和流程可重复性。主要气源由四个气体入口组成，可引入SiH4、CHF3、O2或N2。这使资产能够在各种过程中蚀刻、粉刷或清洁材料。为确保全面的性能,RST201-8/6采用了一系列十二个溅射源,这些溅射源能够向基板的广泛区域提供均匀的电源。RST201-8/6的控制模型基于Labview软件和编程。此编程使设备能够精确控制流程参数和其他设置,以便提供最佳的流程结果。编程还允许全自动启动和关闭过程。来自SEZ/LAM RESEARCH的RST201-8/6是一个高度通用的蚀刻/asher系统,非常适合广泛的应用。真空装置具有较高的可靠性和可重复性，而控制机使工艺参数的微调能够获得最佳性能。结合主要气源和溅射源，该工具提供了业界最佳的蚀刻和清洁性能。
还没有评论