二手 SEZ / LAM RESEARCH RST 201 #293595864 待售
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SEZ/LAM RESEARCH RST 201是一种自动化的、高精度的蚀刻/asher设备,设计用于研究和生产应用。该装置利用先进的蚀刻和加工技术，使基板的可控去除得以实现，从而使导电材料或半导体材料高质量地沉积在各种晶圆类型上。两步过程从利用两个独立的电磁枢转3英寸蚀刻喷嘴和激光引导等离子束的氧等离子体蚀刻系统开始。此步骤从基板表面蚀刻不需要的材料，准备沉积。SEZ RST 201的独特、业界领先的特点是它的双光束配置，这使得各向同性（相当于所有角度）蚀刻和定向蚀刻都能实现，这取决于最终应用。其次，LAM RESEARCH RST 201采用SEZ 800 Asher，将导电或半导体材料沉积在基板表面。该装置有一个精密的板载软件装置，用于控制沉积参数，以及三个独立的激光引导真空喷嘴，可实现精密沉积。最后,RST 201还包括一台用于处理和过程监控的机器。集成工作站配备了完整的安全联锁、电子监控系统,以及可实现自动化维护和故障排除的在线合并和诊断模块（ODD）。总体而言,SEZ/LAM RESEARCH RST 201是一种功能强大、高精度的蚀刻/asher工具,旨在为各种材料和基材提供可靠、可重现的结果。凭借其双梁配置和可变处理控制，是寻找高端蚀刻和生成资产的用户的可靠选择。
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