二手 SEZ / LAM RESEARCH RST 201J #9059251 待售

SEZ/LAM RESEARCH RST 201J是一种自动化蚀刻器/asher，用于半导体工业中，用于制造电路板和其他电子元件。该设备被编程为在基板上精确蚀刻或粉刷多层金属化材料。SEZ RST 201J每小时最多可处理200个晶圆,并提供精确的蚀刻/灰度到1微米。它的数字控制器和驱动程序允许系统被编程为可变温度、压力、功率和蚀刻速度。该单元还包括晶圆状态和反应控制的集成传感器和指示器。封闭式温度控制机利用空气和氮交换的级联来维持加工室内的最佳5ARMS温度。这样可以精确控制确保一致蚀刻和灰化所需的参数。LAM RESEARCH RST 201J包含一个电化学蚀刻罐，以加快蚀刻和灰化过程，并尽量减少化学废物。该储罐的设计可承受蚀刻和灰化过程所需的高晶圆温度和压力,分别为4.5ARMS和4.7个大气压。该罐还可以处理最高蚀刻速率，因为强大的可变电流参数高达1000安培秒。RST 201J旨在通过提高流程产量、速度和效率来降低成本。其晶圆尺寸的灵活性使工程师能够最大限度地满足其特定要求。它还采用了自动晶片加载工具,以尽量减少停机时间。此外,其全面的可追踪性功能还可以跟踪晶圆性能和工艺数据。SEZ/LAM RESEARCH RST 201J是那些寻求可靠、可重复和经济高效的蚀刻和灰化服务的人的理想机器。其强大的设计和精确的晶圆处理能力使其成为半导体和微电子行业的优越选择。