二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 101 #9276809 待售

SEZ/LAM RESEARCH SP 101是一种为干湿蚀刻而设计的蚀刻和灰化设备。它是晶圆表面钝化、晶圆后磨和薄膜沉积等多种工艺研发应用的理想工具。SEZ SP 101是基于SEZ/LAM经过验证的蚀刻和灰化技术。该系统提供增强的流程一致性和可重复性。集成工艺硬件和灵活的软件控制解决方桉使LAM RESEARCH SP 101能够处理半导体晶圆、纳米线、太阳能电池和薄膜器件等广泛的基材。SP 101旨在提供对样品环境的精确控制,这对于精确的过程控制至关重要。它具有先进的温度室控制器和保持样品室内精确温度分布的能力，以获得最佳的工艺控制。而且，SEZ/LAM RESEARCH SP 101也通过其集成的可编程电子束提供精确的蚀刻参数。这样可以进行精确的溅射、化学蚀刻和材料灰化。该单位还包括清扫技术。这样可以提高晶片的清洁度,确保表面光滑,以便进一步制作图样和进行薄膜沉积。SEZ SP 101用户友好,具有易于使用的图形用户界面（GUI）。通过GUI,用户可以选择工艺配方,输入蚀刻参数并存储工艺配方以备将来使用。直观的GUI还允许高效的多步蚀刻和ashing过程控制。LAM RESEARCH SP 101是一种可靠、坚固的蚀刻和灰化机，旨在满足研究实验室的需求。它具有精确的工艺控制、精确的薄膜沉积以及提高的均匀性和可重复性。此外,其用户友好的图形界面简化了蚀刻和灰化设置,同时允许用户存储工艺配方以供将来使用。