二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 102 #9312906 待售

SEZ/LAM RESEARCH SP 102是一款用途广泛的等离子体蚀刻器/灰化器,在许多行业中都有许多应用。它专为处理多种基材而设计，可适应各种工艺，包括蚀刻、灰化和溅射沉积。SEZ SP 102有一个容量可达400升的真空室，最多可配备四个工艺端口。腔室然后连接到真空泵、质量流量控制器、涡轮分子泵和可变排气设备。这使LAM RESEARCH SP 102能够满足现代蚀刻和灰化工艺的最高要求。SP 102的控制系统允许创建各种针对特定过程需要量身定制的预设配方。这种微调单元允许精确蚀刻/灰度与精确的定时和温度控制。过程气体以所需的质量流速直接送入腔室，结果是一个干净可靠的过程。所有的处理参数都可以用前面板控制器调节，如RF/DC发电机输出功率、过程压力和RF/DC发电机频率。SEZ/LAM RESEARCH SP 102配备了一个视口，用于监视室内现象，所有必要的保护系统，包括火花计数器和端点监控，都集成到机器中。此外,SEZ SP 102还提供多种功能,旨在最大程度地提高吞吐量和产量。例如，先进的原位清洗工具允许高效清除过程残留物，而自动基板处理则使多个批次能够以最小的停机时间进行处理。总之，LAM RESEARCH SP 102是一种强大而灵活的等离子体蚀刻/灰化资产，为用户提供了以精确的定时和温度控制处理多种基板的能力。它具有许多使吞吐量和产量最大化的功能,使其成为所有类型的蚀刻/灰化应用程序的理想选择。