二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 201 #293593037 待售

SEZ/LAM RESEARCH SP 201是一个最先进的、高精度的等离子体蚀刻和灰化系统。对于需要精确放置、选择性去除、定向表面纹理和细腻的电介质蚀刻的应用来说，这是一个极好的选择。SEZ SP 201利用射频电源产生的等离子体,具有可选的偏置电压,能够在不同材料（包括半导体、金属和塑料）的基板上对复杂结构进行高质量的阵列化。LAM RESEARCH SP201的晶圆尺寸为25厘米,气体平均功率W/cm2 2-3.3,目标晶圆距离为25厘米。它还具有1250度C的最高温度和高达30 mA的电流范围。这些特性结合在一起，创造出高度的多功能性和准确性，使其能够在蚀刻行业中取得一些最高质量的成果。SEZ/LAM RESEARCH SP201的设计旨在提高蚀刻和灰度的精确度和精确度,它具有"自动调谐"功能,有助于确保射频源和基板之间的最佳匹配。这最终导致更高的吞吐量和更高的质量。此外,该腔室还具有浮动高效真空泵、晶圆级校准、自动调平卡盘、精确软件可控制的"蚀刻速率跟踪"以及强大的计算机控制液晶显示屏,可精确查看。经济特区SP201由一组熟练的工程师维护和服务，他们提供持续的支持和维护。包括减压阀和气体调节器监控器等专门的安全功能，以确保无风险操作。现已采取安全措施，保护操作员免受与等离子体操作有关的任何健康问题的影响。总而言之，LAM RESEARCH SP 201蚀刻器/灰泥是一种可靠、精确的蚀刻和灰泥设备，具有卓越的精确度和吞吐量。它非常适合要求精确放置、选择性移除、定向表面纹理和细腻蚀刻不同基板的应用。对于那些希望获得高精度和一致性的计算机,SP 201是理想的选择。