二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 201 #293795620 待售
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SEZ/LAM RESEARCH SP 201蚀刻机是一款先进的干式蚀刻机,设计用于对各种半导体和介电材料进行高精度蚀刻。该机配备了最先进的光学控制系统,能够产生高精度、高可重复性的超细特性。蚀刻过程在真空室中进行,真空室在极高的温度和压力下保持。这确保蚀刻速率保持不变,蚀刻质量高度一致和可预测。SEZ SP 201蚀刻器具有广泛的过程参数,使用户可以灵活地根据其应用程序要求定制蚀刻过程。该机可配置为精确蚀刻厚度在20微米至1000微米之间的基板,具有很高的重复性和精确度。蚀刻器还具有一系列蚀刻气体调节器,使用户能够控制蚀刻气体的流动,并确保蚀刻过程达到正确的成分。机器还配备了强大的直流电(DC)蚀刻源,能够产生高水平的离子能量进行蚀刻。这允许用户创建精确、精细的蚀刻功能,具有非常高的准确性和可重复性。这种高精度蚀刻还可确保蚀刻零件的表面光滑且无任何瑕疵。此外,蚀刻器的溅射模块使用户能够对部件的任何形状或大小进行溅射,并以严格的重复性创建复杂而复杂的表面特征。LAM RESEARCH SP201蚀刻器也非常通用,能够处理各种基材,包括金属、陶瓷、聚合物和玻璃。这使得用户可以为自己的材料选择最合适的蚀刻工艺,也便于生产各种不同的元件。此外,机器的自动化操作系统大大简化了蚀刻过程,并允许用户为最高效的蚀刻过程优化参数。这样可以确保用户始终通过蚀刻实现高质量和高精度。
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