二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 201 #9361814 待售

SEZ/LAM RESEARCH SP 201是一款先进的蚀刻器/asher,用于多种行业的广泛应用。该设备能够以极高的精度对各种材料进行蚀刻和/或粉刷。它旨在成为一个集成、可靠且经济高效的解决方桉。该系统能够一次蚀刻和灰化多达四个晶片。它有四个直线轴，用于精确控制和对准卡盘、基板和喷嘴运动。该装置配有射频发电机，为基板提供精确的功率水平，以便进行精确和可重复的蚀刻和灰化过程。还包括一个易于真空水平控制的泵站和一个氮气净化机，允许在蚀刻室中进行大气控制。其多室设计使各种表面处理方法得以实现，第一室用于清除污染物，第二室用于高能处理，第三室用于快速冷却速率。此外，它的负载锁定工具可以快速装载和卸载基板和半导体晶片，而不会破坏工艺室的真空。SEZ SP 201以其价格提供高级性能,包括12位分辨率、精密电机控制、喷嘴自动对准以及能够同时使用5000和6000W射频发电机等功能。它还配备了广泛的配件，以适应任何蚀刻或灰化工艺。该资产的真空泄漏率非常低，确保了统一的工艺和清洁的最终产品。此外，该模型还采用了多种安全联锁、腔室联锁以及一、二次排气系统等先进的安全特性。这样可以确保设备在运行的所有阶段都是安全可靠的。LAM RESEARCH SP201是需要精确蚀刻和灰化工艺的理想解决方桉。它旨在提供优异的效果和经济实惠的价位。它是一种高度先进的蚀刻器/灰化器，可以增强任何蚀刻和灰化工艺，是任何工业应用的绝佳选择。