二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 201 #9384204 待售

SEZ/LAM RESEARCH SP 201是一款蚀刻器/asher，其设计目的是在微观蚀刻方面达到尽可能高的精度。SEZ SP 201能够用作独立工具或更大系统的一部分,能够进行蚀刻、灰化、薄膜沉积等。它是一种可靠、精确的机器，非常适合各种不同的研究和工业任务。LAM RESEARCH SP201具有双基板加工室,允许同时蚀刻两个基板。这种双腔室是针对最大吞吐量而优化的，两种基材配方都是独立加工的。腔室配有石英隔热板，保护底物DNA免受蚀刻过程中产生的热量。石英屏蔽也保证了精确的温度控制。该蚀刻器具有先进的软件系统,可控制各种参数,如蚀刻电流、电压、基板温度、O2和H2分压、基板厚度等。这允许用户利用蚀刻器/asher进行各种复杂的蚀刻技术以及各种金属和介电薄膜的沉积。SP201的分辨率为0.5 μ m，可重复性为0.5 μ m。这确保了极其精确的蚀刻和灰度处理,使SEZ SP201适合要求最高精度的应用程序。SP 201配备了两种截然不同的蚀刻方法，可用于加工多种基材。干蚀刻用于蚀刻氧化物、氮化物、有机物和大多数金属，而湿蚀刻则用于去除较厚的多晶金属薄膜。LAM RESEARCH SP 201还有一个抗粘连装置，有助于减少蚀刻过程中的抗粘连缺陷。SEZ/LAM RESEARCH SP201是一款具有高精度和高重复性特性的蚀刻器/asher。它非常适合以尽可能高的精度执行各种类型的蚀刻和薄膜沉积任务。蚀刻器/asher可以同时快速加工多种基材，使其成为材料研究和工业应用的高效工具。