二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 203 #9207192 待售

SEZ/LAM RESEARCH SP 203是一款全自动的等离子体蚀刻器/asher，专为研发目的而设计。它利用最新的技术来产生高质量的结果。SEZ SP 203具有集成的真空隔离设备以实现最大程度的过程控制,以及一套用于可靠操作的自动化控制和过程配方控制参数。LAM RESEARCH SP 203具有三个独立的非接触式电极系统，使气体、功率和偏置的独立控制能够改变等离子体特性。它的最大工作压力为600mTorr，工作压力范围为0.15-110mTorr，使其适用于各种工艺气体，如NF3、CHF3、NH3、AR和CBr4。此外,它还具有优化的电弧放电源,用于均匀等离子体聚焦和置信度.SP 203还具有许多其他方便和可靠的功能,例如基板表面温度监测系统、用于在蚀刻过程中阻挡入射光束的内置快门以及用于样品温度控制的坚固冷却装置。它有一个集成的二次隔离室，通过消除样品之间的交叉污染，可用于产生高精度、高度受控的蚀刻和蚀刻/剥离工艺。为确保质量蚀刻,SEZ/LAM RESEARCH SP 203配备了全面的电气接地机、光发射监测以确保输出的均匀性,以及射频冲刷工具。为维护过程完整性，SEZ SP 203带有多种配方控制功能和高级安全功能。为方便起见，它有一个图形用户界面，可以方便地对资产进行编程和配置。最后，LAM RESEARCH SP 203是一款先进可靠的蚀刻机，具有最新的技术进步。其广泛的功能使其能够产生具有可靠性、便利性和过程完整性的高质量结果。