二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 203 #9217507 待售
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ID: 9217507
Spin etcher, 8"
(2) Shutter door load ports
Open cassette with manual cassette loading
Standard wafer handling with wafer backside and front side operation
ATM407 Robot handling with CYBEROPTICS laser mapper
Vacuum ceramic end effector single sided
(2) ECO Grippers for wafer transfer
Standard pin chuck 200/200/200
DIW Rinse arm
N2 Dry arm
Medium dispenser arm
Single HEX heater
Heat exchanger
USF100 Ultrasonic flow meter (Chemical flow meter)
Chemical cabinet (CDS)
Integrated PDB
Shutter load port open / Close motor controller missing
Power: 208 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz, 60 A
2010 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH SP 203是一款先进的蚀刻机/asher机器,具有最先进的自动化功能,能够快速高效地清洁表面。它设计用于各种工业过程中可靠、安全的操作。这台机器非常适合那些需要在最短的停机时间和维护停机时间内频繁对硬质表面进行深度清洁的公司。SEZ SP 203提供高度精确的自动化控制,以帮助处理多种材料,包括金属、塑料、涂层、介电材料和玻璃。它配有强大的双频液晶面板,可精确控制温度设置,并配有内置风扇,以保持室内温度的控制和一致性。此外,它还配备了一个自我诊断系统,在机器性能开始下降时向用户发出警报,从而使维修和维护人员能够尽快获得准确的信息。LAM RESEARCH SP 203还配备了综合排气系统，用于清除室内大气中的废料，从而实现安全高效的处理。内置的安全功能,如安全关闭装置和绝缘安全壳,进一步确保用户在操作过程中受到保护。而对于需要统一结果的操作，SP 203配备了可编程逻辑控制器（PLC）系统，使各种可编程参数得以快速存储、编辑和执行。该机还可配置以容纳不同的基板和腔室尺寸，允许用户使用一系列结构材料。最后,SEZ/LAM RESEARCH SP 203提供尖端的自动化功能和一流的安全功能,以可靠可靠的性能提供顶级的蚀刻和灰化操作。凭借其坚固的构造、一致的温度和可配置的功能,SEZ SP 203能够在不牺牲效率或功率的情况下实现统一的结果。
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