二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 203 #9276814 待售

SEZ / LAM RESEARCH SP 203
ID: 9276814
晶圆大小: 6"-8"
Spin etcher, 6"-8".
SEZ/LAM RESEARCH SP 203是一种蚀刻器/asher,用于从包括硬金属、合金和覆盖硅片在内的一系列基板表面精确去除材料。具体来说,设备配备了ICP(感应耦合等离子体)源,利用高频放电产生蚀刻或灰化过程。在多次运行中,结果一致、精确且易于重现。强大的ICP源产生的蚀刻速率高达8,000埃/分钟,具有出色的表面轮廓。此外,该系统能够累积长达10分钟的蚀刻时间,还能达到高达1000摄氏度的温度。该设备能够使用简单的用户界面自动控制蚀刻过程。它配有过程控制器模块,具有图形用户界面,便于编写蚀刻时间和温度设置。通过对每个蚀刻工艺的结果进行分析,可以快速确定和控制特定材料的最佳工艺参数。该工具设计具有多种安全功能,包括等离子体和操作员之间的物理屏障,以及内置的屏蔽护罩和排气羽流外壳。具有耐用的不锈钢结构和惰性气氛,该资产非常适合在任何实验室环境中使用。SEZ SP 203非常适合高精度的蚀刻和灰化应用。该模型具有强大且用户友好的设计,在帮助实验室进行高效、准确的蚀刻和灰化过程方面非常宝贵。对于任何实验室环境而言,它都是一种可靠而强大的蚀刻器/灰化器。
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