二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 203 #9407543 待售
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已售出
ID: 9407543
晶圆大小: 8"
Spin etcher, 8"
Front UI
ULPA Filter
Ionizer system
(2) Load ports (Left and Right): 8
Load-port adapters: 8
Chuck Size (Left and Right): 8"
Chemical module1: DI
SMIF Non-functional
Power Distribution Box (PDB)
Cables
Does not include:
Rear UI
Flip module
End point detection system
HORIBA Concentration monitor (HF Monitor)
(2) Heat exchangers
Wafer ID Reader
RFID Reader
AGV
Ozone module
Transformer.
SEZ/LAM RESEARCH SP 203是一种高精度的蚀刻器/asher设备。它是SEZ/LAM研究系列的一部分,旨在满足高级研发应用所需的严格标准。SEZ SP 203具有高度通用的多用途系统,能够完全控制蚀刻和灰化过程。该单元有四种蚀刻或灰烬配置的选择，具有多种输送和气体入口系统。它能够用一系列材料和基材、单层或多层、平行或垂直表面以及许多不同厚度进行蚀刻或灰烬。LAM RESEARCH SP 203具有广泛的控制选项,包括精确的数字读出,可用于设置所需的蚀刻或灰化参数。它具有控制气体流量和压力的独立气量计，以及控制蚀刻速率、基板温度和表面清洁度的可调温度设置。SP 203利用基于PC的软件对单个蚀刻或灰处理进行编程,并创建循环配方。该软件具有用于设置流程的直观图形界面,易于使用的菜单和控件便于操作。SEZ/LAM RESEARCH SP 203还具有内置的安全和监控机器,以确保蚀刻或灰化过程中的最佳条件。它使用先进的传感技术来检测任何潜在的危险事件，并自动关闭蚀刻/灰化操作。它还有一个警报工具，允许实时监测蚀刻/灰烬过程。SEZ SP 203设计人性化,考虑到高性能。它的高级设计确保了所有蚀刻或灰烬工艺的准确性、可重复性和可靠性。其高品质的零件提供卓越的性能和可靠性,同时提供长期耐用性。总体而言，LAM RESEARCH SP 203是一个创新和通用的蚀刻和灰化应用解决方桉。其先进的特性和设计使其成为研发和生产用途的理想选择。SP 203提供高精度、准确性和可重复性,使其成为任何实验室或生产环境的理想工具。
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