二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 223 #293655016 待售

SEZ/LAM RESEARCH SP 223是电子工业中使用的一种精密的蚀刻/asher，用于高分辨率光刻面膜和晶片的蚀刻和粉刷。它是一种并行批处理设备，能够同时处理多达四个晶片。SEZ SP 223有一个活动/非活动交换机,允许用户在进程之间进行切换。蚀刻器/灰化器有两个腔室，每个腔室都有自己的等离子体源、气体输送系统和蚀刻/灰烬室。腔室连接到等离子体处理器，该处理器控制过程的压力、气流、射频发生器频率和其他参数。流程参数是从预定义的配方中导出的,存储在设备的内存中。LAM RESEARCH SP 223机设计为蚀刻/灰光掩模，分辨率小于1微米。高分辨率是由刀具的有源腔室控制资产实现的,该资产保持精确控制的环境并确保精确的蚀刻/灰化。此外,该模型还提供了两种截然不同的配方,可用于在一个过程中蚀刻/清除单个掩模。该设备还内置了旨在最大限度减少蚀刻/灰烬损坏的防护装置。该系统的等离子体屏蔽、小容量输送装置和事故预防机器旨在保护被加工的掩模或晶圆不受过度蚀刻、暴露于氢气或其他破坏性物质以及其他潜在危险的影响。SP 223是一款坚固可靠的蚀刻器/asher,以经济实惠的成本提供精确的控制和高性能。对于任何需要一致方式来准确快速地处理其光刻面膜和晶片的人来说，这是一个完美的选择。