二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 223 #293775027 待售
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ID: 293775027
晶圆大小: 8"
优质的: 2004
Etcher, 8"
Process: Post etch polymer removal
Factory interface: (4) SMIF
Handler system: Single wafer process
(3) CDS
CIM
2004 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH SP 223是一款将高端工程和创新技术相结合，以最好地满足晶圆应用需求的蚀刻器/asher。SEZ SP 223是一种灵活的全系列设备,具有提供高级灵长类动物和系统控制功能的过程模块。该单元完全可配置为8到30英寸的处理区域,最大200毫米可用于均匀分配,8个精密电动级,以及600毫米驱动容量。这使得它适用于更大的晶片和PDK以及简单的面膜和基板。LAM RESEARCH SP 223配备了各种针对各种蚀刻/asher应用量身定制的工艺模块。RIE模块提供对反应物和气体的精确控制，在广泛的晶圆应用中提供均匀的蚀刻特性。热等离子体RIE允许非常大范围的气体化学溷合，使其适合更复杂的材料包括氮化物、氧化物和聚合物。先进的PDL模块包括针对超低等离子体损伤量身定制的功能集,即使在低温或低真空阵列过程中也是如此。快速晶片功能还可以实现优化的吞吐量。该机器还具有用于自动晶圆映射的强大工艺工具。先进的晶圆图使得自动反馈控制系统能够优化均匀性。该工具还提供一流的晶圆清洁度,以实现最高的产量和可靠性。配方驱动的界面提供实时的流程开发工具，例如用于交互式设计、编程和加载流程的流程生成器。SP 223还包括用于监视整个过程的集成实时检测资产。SEZ/LAM RESEARCH SP 223配备了可最大限度减少粒子和分子污染的集成腔室设计。高真空和高级涡轮分子泵提供了极致的过程控制.该套件还包括先进的高性能气柜，能够实现无与伦比的气流条件，便于工艺集成。总体而言,SEZ SP 223是一款蚀刻器/asher,它结合了最新的精密机动化阶段、先进的灵长类动物和模型控制功能、一流的晶圆清洁度以及尖端自动化技术。它适用于广泛的蚀刻/asher应用，非常适合那些寻求高精度控制和可重复工艺性能的人。
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