二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 304 #293818314 待售

SEZ/LAM RESEARCH SP 304是设计用于半导体制造的等离子体蚀刻器/asher。具有较高的半导体材料的蚀刻、灰分和变质能力，具有较高的吞吐量和精确度。这种设备非常适合用于芯片原型制作的蚀刻和复印光刻屏蔽,以及用于LED、TFT和LCD制造的重新打磨表面。SEZ SP 304配备了先进的标量控制系统，在广泛的基板配置上提供卓越的均匀性和过程重复性。该单元允许用户精确调整各种处理参数和工作时间，可以即时修改，也可以从机器内部创建的程序加载。LAM RESEARCH SP 304还利用高功率射频发电机，允许在各种基板上进行高通量蚀刻和灰化。SP 304具有增强的蚀刻和灰化功能的独特组合,使基材能够快速且精确地蚀刻和灰化。这是通过蚀刻源和异源实现的，这是两个单独的等离子体源，可以组合或连续用于高精度蚀刻和灰化。通过同时具有直流偏置源和微波源,用户可以同时运行蚀刻和灰化过程,从而缩短运行时间。SEZ/LAM RESEARCH SP 304还采用了双室设计，提供了更方便的基板装载和改进的上层甲板通道。上室设有多个目标，并配有石英板加热器，用于精确的温度控制。这样可以确保基板温度一致,从而提高工艺的可重复性。SEZ SP 304是一款功能强大的蚀刻器/asher，为各种半导体材料提供卓越的吞吐量和精度。凭借其先进的标量控制工具、双腔室设计以及增强的蚀刻和灰化特性，为生产高精度、一致通量的蚀刻/灰化基板提供了可靠、可重复的平台。