二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 304 #9093794 待售
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已售出
ID: 9093794
晶圆大小: 12"
优质的: 2001
Spin etcher, 12"
Single wafer processing
(1) Process chamber
(2) Load ports
8” / 12” Conversion kit
Main unit (MU):
FM 4910 compliant
Dual FOUP wafer loader system
Robot backside and frontside handling (12 B/F)
Equipment robot + flip module
Wafer ID reader
Step-up transformer (208V-400V)
Mini environment with ULPA filtration
(3) Chemical cabinets (CDS):
FM 4910 compliant
Preparatory tank
Buffer tank
Mix and buffer
Chemical storage reservoir
ENTEGRIS Valves (flaretek)
Nippon pillar pumps for supplying, recycling, and draining of chemical
Filter housing
Dual high temperature heat exchangers for chemical temperature control
Paddle wheel
Chemicals used:
Nitric acid
Phosphoric acid
Hydrofluoric acid
HF/HNO3 (1:25)
HF/HNO3 / H3PO4 (1:6:4)
Filter fan unit
UL Certified
2001 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH SP 304 蚀刻器/asher设备是一种用于半导体制造工艺的基材材料蚀刻和灰化的工具。它能够执行各种工艺步骤，如湿蚀刻、干蚀刻、光致抗蚀剂剥离和抗条带蚀刻。该系统具有两个独立的过程模块，每个模块都有自己的独立控制单元。第一个模块是蚀刻站，用于基材的蚀刻。它具有可编程的蚀刻工艺，如反应性离子蚀刻、等离子体蚀刻和干蚀刻。蚀刻站还能进行清洁和选择性步骤，如氧化物浸渍、光刻胶剥离、抗条带蚀刻等。第二个模块是ashing station。用于从基材中去除光刻胶、聚酰亚胺等有机材料。此功能使无掩码光刻过程能够非常快速地完成。这两个过程模块都是为最大吞吐量和灵活性而设计的。它们具有先进的过程控制系统,可确保精确的温度和功率控制。此外,每个模块都配备了快速冲洗功能,可以快速进行全场蚀刻和冲洗。此外，这两个模块还具有集成端点检测机，可以检测任何蚀刻或灰化步骤的末端并相应调整过程。SEZ SP 304是一个可靠的工具,以安全可靠的方式运行,并且至少需要用户维护。资产符合安全和环境标准,例如IS09001和SEMI S2。该模型的低成本和紧凑的设计使得它成为一个理想的选择既建立和新兴的织物。LAM RESEARCH SP 304 蚀刻器/asher是一种高度通用的设备,能够执行许多过程步骤。它使制造商能够以优异的产量蚀刻和灰烬，同时也提供一致和可靠的结果。它是确保半导体制造过程质量的经济高效的工具。
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