二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 304 #9397342 待售

SEZ/LAM RESEARCH SP 304是专门为电子工业开发的蚀刻器/asher。它是一种宽腔室加工工具，能够蚀刻和清洗各种材料。这款多室、多过程蚀刻器/asher具有最先进的工艺控制和性能,使其成为任何生产环境中可靠、可靠的工具。SEZ SP 304配备了蚀刻、清洁、带状、冲洗四个集成腔室。蚀刻室的设计能够提供卓越的性能，同时保持可重复的过程控制。它装有高性能离子源，可以方便地调整各种工艺参数。清洁室利用磁性辅助脉冲等离子体清洗最大限度地控制过程，使循环时间更快。带状室的设计目的是快速有效地去除不需要的材料层，而冲洗室的设计则是在基板从机器上取出之前提供最后的冲洗。LAM RESEARCH SP 304的高级控制系统允许所有流程参数的自动化，以及针对特定流程需求的配方定制。综合流程监测进一步加强了该系统，从而能够持续监测所有流程参数，以更好地确保可重复性和质量。SP 304有一个大容量的加工室，能够处理各种各样的基材尺寸。它还可以配备多种起重机构，以实现各种尺寸和形状的操控。SEZ/LAM RESEARCH SP 304具有全面的控制和先进的技术,旨在确保无缺陷的结果,同时减少报废和停机时间。SEZ SP 304在可靠、可靠且经济实惠的平台中提供了无与伦比的性能、质量和吞吐量。它是电子行业寻求各种材料的低成本、可靠和高性能蚀刻的完美解决方桉。