二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 323 #293757562 待售

SEZ / LAM RESEARCH SP 323
ID: 293757562
晶圆大小: 12"
Spin processor, 12".
SEZ/LAM RESEARCH SP 323是一种专门的蚀刻和灰化设备,可为用户提供灵活、经济高效的工具来满足其处理需求。它专为不同材料的高品质、可重复蚀刻和灰化而设计,包括金属、半导体、电介质和玻璃。SEZ SP 323系统是一个可靠的蚀刻/灰化单元,易于操作和维护。LAM RESEARCH SP323配备了高频等离子发生器;这种强大的发电机是用来蚀刻薄层和结构上选定的基板。发电机产生必要的蚀刻参数、压力和温度,随着等离子体气体的选择,用户可以对不同的材料进行精确的蚀刻和灰化。LAM RESEARCH SP 323带有一个加热元件,设计用于支持基材在蚀刻过程中的热稳定性。机器具有自动切片功能,允许用户通过自动设置每个层的蚀刻参数来执行多个蚀刻过程。此功能使蚀刻过程简单高效。SP323配有先进的真空工具,由多台多级泵、真空计和阀门组成,确保了一步一步、安全控制的真空过程。自动化配方控制过程使用户能够设置一系列配方,以优化流程结果并缩短操作时间,从而节省成本。用户还可以使用SEZ SP 323的触摸屏HMI精确监控和控制蚀刻过程。此触摸屏显示屏显示所有过程信息,包括压力、温度和气流设置。它还具有一个用户友好的界面,允许用户轻松监控、设置和控制蚀刻过程。SEZ/LAM RESEARCH SP323是一种多功能的蚀刻/灰化资产,为用户提供必要的参数、过程灵活性和精确度,以创建复杂的结构和蚀刻困难的材料。此模型能够支撑多种材料,非常适合创建复杂、高质量的零件。
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