二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 323 #293824790 待售
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SEZ/LAM RESEARCH SP 323是一款针对各种材料蚀刻和灰化应用而设计的蚀刻器/灰化器。该设备针对高吞吐量进行了优化，适用于快速周转应用。这个系统可以用一个12英寸的多室工艺室处理各种尺寸和材料的晶片。SEZ SP 323采用最新技术建造，并具有SEZ专利的多反应堆技术TM，它允许在一个腔室中输送不同的蚀刻和灰化化学物质。它还采用最先进的射频和直流等离子体源进行设计，以确保晶片到晶片以及腔室到腔室的均匀和可重现的工艺结果。该单元为晶片批处理应用提供了具有高度可重复性的精确控制。LAM RESEARCH SP323还提供了广泛的工艺支持功能,如压力监测、温度控制、湿度监测、颗粒过滤和蒸汽输送。该机还为用户配置的过程参数和射频晶圆映射解决方桉的集成提供了平台。这样就可以精确控制各个腔室中的工艺参数,从而使工艺工程师有更大的自由来构建配方和维护批处理后的工艺一致性批处理。SP323采用全面的用户界面设计,具有直观的图形界面和数据库连接,使用户可以轻松自定义配方和流程参数。此工具还提供灵活的远程过程监视和控制,包括实时数据访问和报告功能。总体而言,SEZ/LAM RESEARCH SP323是适用于各种材料蚀刻和灰化应用的理想蚀刻/灰化解决方桉。它提供了高级流程参数控制、精确可重复、流程结果、广泛的流程支持和直观的用户界面,非常适合快速周转、复杂的制造流程。
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