二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 323 #9211042 待售

SEZ/LAM RESEARCH SP 323是一款蚀刻器/asher，设计用于干蚀刻和灰化硅、铜、玻璃等材料。它具有石英涂层的大面积腔室，加热到2450°C，用于高密度等离子体蚀刻。它在高密度等离子体（HDP）下运行，沉积速率高达10A/min。SEZ SP 323提供了一系列可供选择的腔室,具体取决于对象的大小和需要进行的蚀刻/灰化类型。真空范围为10-5 torr至10-4 torr,功率输出高达40kW（泵送至13.56 MHz左右的射频频率时,非常适合复杂的蚀刻作业。为防止损坏细腻的表面，腔室还提供电子喷枪和氮气回冷墙，以确保没有化学污染。LAM RESEARCH SP323由真空室和射频发生器两个室组成。真空室密封，确保加工条件均匀。该腔室由石英制成，为关键应用提供了更长的使用寿命和更好的加工精度。射频发生器将射频波送入腔室，使过程参数得到精确控制。SEZ/LAM RESEARCH SP323配备了四和数字射频光谱系统、法拉第探测器、质谱系统、计算机辅助等多种诊断工具。这些系统允许精确测量电子温度、离子温度、等离子体种类和密度等特性，以及反应物/产物比率。这可帮助用户确定当前任务的最佳处理条件。总体而言,SP 323是一款高性能蚀刻器/asher,设计用于处理即使是最苛刻的干蚀刻和灰化作业。凭借其大面积的石英室、氮冷壁和射频发生器，该机为硅、铜、玻璃等材料的蚀刻和灰化提供了最佳环境。此外，它的高沉积率使其适合大批量生产环境。