二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 323 #9329269 待售

SEZ/LAM RESEARCH SP 323是一款蚀刻器/asher，设计用于低压等离子体蚀刻和灰化。它是一种装有特殊工艺特性的真空室工具，非常适合各种需要精确控制工艺参数和材料的应用。SEZ SP 323允许用户在比传统等离子体方法更低的温度下蚀刻和灰烬，并实现更清洁的表面。它在设计中融入了多项工艺创新，使其成为当今最先进的蚀刻器和分类器之一。LAM RESEARCH SP323是一种直立、全自动的设备。其最大载荷容量为2.5千克，并设有集成载荷锁室。其等离子体工艺设计提供了比传统等离子体蚀刻和灰化方法更高程度的工艺均匀性和可重复性。该系统配备了三区热控制单元，允许对腔室、腔室壁和等离子体腔室进行精确的温度控制。这使用户能够随着时间的推移更准确地重复他们的过程。LAM RESEARCH SP 323设计具有很高的灵活性，具有广泛的工艺参数和材料类型，可以容纳。它有一个主动过程监测机，为用户提供等离子体过程参数的实时反馈，并允许他们即时进行调整。该工具具有主动冷却资产,允许延长运行时间而不会降低腔室环境。它由设计用来承受恶劣的等离子体处理环境的材料构成,从而最大程度地减少了停机时间。此外,SEZ SP323具有高度可定制性,可以配置为满足各种客户要求。它可以集成到现有的操作中，包括机器人技术和自动化系统。该模型包括一个功能强大且用户友好的软件包，可以方便地设置和控制。该软件允许主动监视流程参数以及数据记录以进行详细分析。SEZ/LAM RESEARCH SP323是一款功能强大且用途广泛的蚀刻器/asher设备。它的设计采用了几种先进的工艺创新，使其成为目前最灵活的系统之一。它的低压等离子体蚀刻和灰化能力使其成为各种应用的理想选择，而其主动冷却系统则允许延长运行时间而不会损坏腔室。其集成的软件单元提供了对过程参数和材料的精确控制,其可定制的设计使其能够满足各种客户需求。