二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 323 #9366266 待售
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SEZ/LAM RESEARCH SP 323是一款为半导体和FPD（平板显示器）生产而设计的蚀刻器/asher。它为各种蚀刻和剥离化学材料提供自动化性能。这种多功能设备具有先进的系统集成、高级流程控制和多级自动化。SEZ SP 323的占地面积很小,可轻松融入现有生产线。它的模块化设计可确保快速交换元件,从而使拆卸和组装时间少于15分钟。该单元具有两个区域的Split-Zone Reflexion和Impingement。这样可以提高基材和工艺的均匀性,以适应不同的模具和模具尺寸、工艺和温度。该机具有高速、大型的舱室间运输能力。在任何配方组合中,每批处理过程最多可容纳44个模块,每个IC（集成电路）最多可容纳4个有源模块。此外，LAM RESEARCH SP323采用可调高频发电机进行三维等离子体阻抗控制。此外,SP323还包括一个高级软件包,可对每个批处理运行提供更精确的控制。这包括功能强大、灵活的配方编辑器和数据分析软件包,允许对蚀刻过程进行全面远程控制和监控。软件包还允许参数调整和微调功能,从而可以优化蚀刻过程。最后,经济特区SP323提供了增强的安全功能,包括自动温度监控、内置安全锁定工具和可选的I类, II类,经认证的危险位置机柜。这使得资产非常适合任何危险环境。综上所述，SP 323是一款为半导体、FPD等生产线设计的蚀刻器/asher。它具有小占地面积、模块化设计、高速传输功能和用于优化蚀刻的高级软件包。此外,它还具有增强的安全功能,非常适合危险环境。
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