二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 4300 #9276828 待售

SEZ/LAM RESEARCH SP 4300是一款先进的自动化蚀刻器/asher，设计用于半导体和光电器件制造中精确高效的蚀刻和灰化要求。它利用三区扩散动力氧等离子体源提供显着更高的蚀刻/灰化效率。此外，该设备能够提供可调节的反应性物质浓度，从而能够更好地控制蚀刻/灰化操作和最终结果。该系统由Asher/Etcher模块、网络控制器以及多种组件组成，如真空室、拉杆、喷涂试剂管理单元、接口卡、电源和真空泵。Asher/Etcher模块负责通过使用具有扩散和解离能力的氧等离子体源来提供等离子体。为了操作SEZ SP 4300，真空室中充满了所需的气体，如asargon、氙或氧。反应性电离气体随后进入腔室，在那里遇到专有的射频功率放大器，之后引入等离子体。这个等离子体产生一个均匀分布在整个腔室的同质场，允许精确的蚀刻和灰化操作。网络控制器提供用于控制蚀刻和灰化操作的用户界面和软件。LAM RESEARCH SP 4300能够根据操作要求生产干蚀刻和湿蚀刻程序以及化学和气体工艺。此外，它还配备了四级气体输送机，可重复和精确地调整所需的工艺浓度。此外，该工具拥有广泛的可用可调操作参数，可提供极大的灵活性。总之，SP 4300是一种功能强大、符合人体工程学和高效的蚀刻器/灰化器，设计用于半导体和光电制造的精确有效的自动蚀刻和灰化操作。SEZ/LAM RESEARCH SP 4300具有广泛的可调整性和灵活性,在蚀刻和灰化方面提供了大量的精度和控制,使其成为任何蚀刻/灰化要求的理想解决方桉。