二手 SEZ / LAM RESEARCH SP 4300 #9397344 待售

SEZ/LAM RESEARCH SP 4300是半导体工业中用于处理多种材料的蚀刻器/asher。它专为高吞吐量而设计,在要求最苛刻的应用程序中支持先进的技术流程。SEZ SP 4300具有大型加工室和多工具配置,是一个通用的平台,可用于一系列蚀刻和灰化过程。LAM RESEARCH SP 4300以其先进的精密等离子体控制系统提供对表面处理的精确控制，其中包括多种射频射频/直流配置。利用独特的多点端口电感耦合等离子体（ICP）源增强了其均匀性和总晶圆覆盖率。其创新的自动化端点控制和精密的闭环电源控制系统确保了准确的处理结果,即使在使用挥发性材料或其他难以蚀刻的材料进行处理时也是如此。SP 4300具有自动加载/卸载工艺室,可确保一致、高通量,并可处理直径不超过8英寸的大型晶片。自动加载/卸载盖闭合系统可防止污染,并保持晶片上的磁场清洁和均匀。加热的基板和样品卡盘，加上先进的工艺控制系统，可以实现可靠的工艺和温度控制。SEZ/LAM RESEARCH SP 4300还设计了易于维护的可移动腔室和子组件,以便于清洁和更换。SEZ SP 4300提供了一系列选项,包括用于机器人晶片传输的集成机器人晶片处理程序和通过监测大气条件保护人员和机器的工作室安全系统。LAM RESEARCH SP 4300具有完善的工艺控制系统、大型加工室和各种选项,是最先进的蚀刻和灰化工艺的理想工具。