二手 SEZ SP 201 #293821357 待售

SEZ SP 201是由SEZ Group製造的蚀刻/asher。它是半导体和汽车工业中小尺寸晶片和基板蚀刻和粉刷的理想机器。由于直观的图形用户界面，这台机器体积小巧，易于使用。SP 201的尺寸为1000 x 600 mm，在20°C至350°C的温度范围内运行。其最大工艺面积为17 x 17毫米。该机器的最大蚀刻速度为每秒70毫米，最小蚀刻速度为每秒5毫米。它还能够处理250 x 250 mm的最大基板尺寸。该机由四台无刷电动机提供动力，并配备了一个锁载室、压力传感器和集成气体输送设备。它还配有内置压力控制、实时O2和CO2测量，以及来自专用发电机的O2供应。SEZ SP 201配备了基于PC的软件控制系统和工业通信接口。它还包括一个先进的ROS质量控制和晶圆产量优化单元.机器进行短周期操作和温度控制的临界蚀刻。它还具有精确的定位和稳定的过程控制,以及先进的检查工具.此外,SP 201的高级安全功能使它能够保护工艺环境。它包括一个有源热传感器、一个带空气快门功能的空气净化器和排气风扇系统。该机具有开放式平台，能够集成自动化视觉机等过程工具。总体而言，SEZ SP 201对于半导体和汽车行业来说是一款可靠且经济实惠的蚀刻器/asher。它以先进的安全特性提供了对蚀刻工艺的精确控制，以及优化的长期蚀刻性能和工艺可靠性。