二手 SHIBAURA µASH 8100 #9234384 待售
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ID: 9234384
晶圆大小: 8"
System, 8"
(2) Chambers
Processing type: Vacuum
Mass flow controller (MFC):
Gas number / Gas name / MFC Size (SCCM)
Gas 1 / O2 / 2000
Gas 2 / O2 / 2000
Gas 3 / CF4 / 20
Gas 4 / CF4 / 20
Gauge:
MKS Baratron 626A
Range: 1.333 kPa
NS FFU-222 System
DAIHEN CMC-10 Tuning control
DAIHEN SGP-10B RF Generator
DAIHEN SGM-10A Matcher.
SHIBAURA} ASH 8100是一种蚀刻器/asher,设计用于在各种基板上提供精确而复杂的蚀刻和灰化。它集成了激光源、光束控制技术和独特设计的过程管理软件,以提供高精度的结果。这种蚀刻器/asher可以自动调整,以模拟不同材料的不同蚀刻条件,从软金属到硬陶瓷基板。该装置采用先进的封闭式激光源,提供稳定可控的工艺。它旨在完全控制激光参数,如脉冲持续时间、能级、频率和光束光斑大小。流程管理软件允许对流程的每个元素进行控制,从而确保安全性和准确性。它为每个应用程序提供均匀蚀刻的深度和无粒子表面。蚀刻过程可以在平面和轮廓表面进行。独特的固态激光器设置可在弯曲、复杂和非平坦的表面上实现高质量的光洁度。它可以在广泛的温度范围内运行,允许用户减少蚀刻时间,同时确保高精度的结果。蚀刻工艺用途广泛,几乎可以应用于任何基材。该蚀刻器/asher具有坚固的施工质量,并具有IP54的防尘/防溅结构。其整体激光系统和闭环冷却通道确保了长而可靠的性能。为防止任何过热,蚀刻器/asher具有低能量密度设计和温度检测系统,如果温度过高,该系统将关闭机器。Μ ASH 8100提供了卓越的精度,以确保最复杂的图桉和设计能够轻松准确地形成。这种蚀刻器/asher是为可靠性和易用性而设计的,非常适合使用各种基板的用户。SHIBAURA的自动化特性和坚固的结构质量,为蚀刻和灰化应用提供了完美的解决方桉。
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