二手 SHIBAURA µASH 8100 #9234515 待售

SHIBAURA走ASH 8100是一种独立的、热增强的蚀刻设备，设计用于精确晶圆图案。该系统在将图样蚀刻到易碎和细腻的基板上时,具有卓越的灵活性和性能。它是一个完整的串联处理蚀刻器,在独立或并行批处理模式下工作。该单元包括一个安装在框架上的主工作平台、一个装有要蚀刻晶片的蚀刻室和一个单独的冷却室。主工作平台配备独特的运动识别技术，达到所需的模式精度。该技术允许平台检测和跟踪微观模式，并保持各种晶圆形状和尺寸的刚性精度。矩形蚀刻室设计用于蚀刻过程中的均匀冷却和加热，并有一个特殊的温度控制机来有效调节温度。它允许在整个晶片表面均匀的温度分布和均匀的蚀刻。蚀刻室还具有静电销，用于精确对准晶片，以实现高精度图样。Μ ASH 8100具有计算机化的过程控制工具,可准确监控整个蚀刻过程。此资产具有双通道高灵敏度检测器,可更精确地检测模式,以及直观的图形用户界面,便于操作。计算机化的流程控制还为用户提供了其他选项,例如自动处理、存储多个流程的能力以及在流程菜单选项之间切换的便利。SHIBAURA的冷却室了牢固的密封，保证了足够的密封性以进行冷却和通风。整个冷却模型由安装在冷却室后部的风冷鼓风机提供动力。该鼓风机能够在蚀刻过程之前快速冷却或加热晶片。Μ ASH 8100是一种多合一、用户友好的蚀刻设备,专为全面的基板图桉设计。其温度控制、运动识别和计算机化过程控制系统在蚀刻细腻易碎基板时提供了高精度和可靠性。其冷却室可保护晶片免受热损坏,并确保整个晶片表面均匀蚀刻。因此,它非常适合需要高精度和高精度的应用。