二手 SHIBAURA µASH 8100 #9234516 待售
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ID: 9234516
晶圆大小: 8"
System, 8"
(2) Chambers
Processing type: Vacuum
Mass flow controller (MFC):
Gas number / Gas name / MFC Size (SCCM)
Gas 1 / O2 / 2000
Gas 2 / O2 / 2000
Gas 3 / CF4 / 20
Gas 4 / CF4 / 20
Gauge:
MKS Baratron 626A
Range: 1.333kPa
NS FFU-222 System
DAIHEN CMC-10 Tuning control
DAIHEN SGP-10B RF Generator
DAIHEN SGM-10A Matcher.
SHIBAURA走ASH 8100是一种蚀刻和灰化设备，使用红外辐射和辐射激发技术提供各种材料的同时蚀刻和灰化。该系统具有红外至200纳米的易感性排放，可用于蚀刻和粉刷各种无机和有机材料。该装置通常需要不到5分钟的对准时间，以确定用于蚀刻和灰化的辐射的精确聚焦，从而提供非常有效的过程。Μ ASH 8100的蚀刻速度非常快,可以在5x5 cm的较大区域内达到35000 nm/min,从而可以更快、更精确地进行蚀刻和灰化。此外，该机器能够向目标区域施加额外气体，从而能够对所处理的材料进行更精确和精确的蚀刻控制。SHIBAURA走ASH 8100的控制通过连接到控制柜的PC提供。这允许用户设置所需的工作参数,例如蚀刻和灰化时间、温度和腔室压力。该工具还具有远程访问功能,允许技术人员远程监视资产性能,从而实现了较高的诊断能力。Μ ASH 8100采用称为环绕声信号设备的安全模型构建,可确保用户免受辐射和其他有害气体的伤害。此外，系统还包括一个确保工作室纯度的多级预滤器单元，以及一个提供当前工作参数清晰视图的LED显示屏。机器包括一个手册，提供关于其设置、操作和维护的全面说明，简单明了。此外，手册还提供了详细的图表、零件的图表以及维修信息。SHIBAURA走ASH 8100是希望快速蚀刻或灰烬材料以用于研发和生产目的的用户的理想工具。它的快速蚀刻速率、远程监控和控制功能使用户能够以高效有效的方式快速修改许多应用程序的材料。
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