二手 SHIBAURA µASH 8100 #9236731 待售

SHIBAURA µASH 8100
ID: 9236731
晶圆大小: 8"
Systems, 8" (2) Chambers.
SHIBAURA走ASH 8100是为光掩模生产而设计的高精度蚀刻器和asher。这台机器受到领先的IC制造商的信赖,因为它在包括电路、接触孔和对准标记在内的蚀刻/灰化要求方面表现出色。Μ ASH 8100配备高精度组件,在蚀刻/灰化操作中提供卓越的性能和准确性。其最大容量可达12个晶圆/小时,最大精度100 µm。它还利用先进的真空技术在蚀刻/灰化操作过程中保持较高的清洁度。SHIBAURA} ASH 8100拥有直观的用户友好界面,可确保轻松操作和精确。控制器允许用户对诸如循环时间、工作压力、曝光时间等蚀刻/灰度设置进行编程。控制器还具有内置的自我诊断功能,可以识别蚀刻/灰化过程中的任何问题。机器配备了多种安全措施,可以保护操作员和设备免受危害。除此以外,走ASH 8100具有自动晶圆映射功能,自动将晶圆与掩模对齐,进行精确蚀刻和灰化。它还具有自动温度调节系统,可确保蚀刻/灰化操作过程中的温度稳定。它能够加工各种材料,包括各种金属、硅、石墨和石英。SHIBAURA走ASH 8100还具有先进的自动化能力,使得使用滚筒控制系统编程更加简单。该单元还包括一个链轮控制机构,允许精确蚀刻/灰化所有类型的图桉。总体而言,走ASH 8100是一种先进的蚀刻/灰化系统,可靠、高效、准确。它具有高精度和自动化的功能,是寻求卓越蚀刻和灰化效果的IC制造商的理想工具。
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