二手 SHIBAURA BM-1400PC #190674 待售
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ID: 190674
晶圆大小: 8"
Photo Catalyst (Hydrophilic Mirror) Sputtering System, 8"
Specifications:
Single-wafer load lock
Supports wafers up to a maximum of 8"
(5) processing chambers (Sio2: 2 layer, Tio2: 2 layer
Inverse sputtering with our original cup gun method
Heating unit included
Wafer size is 265 mm, Effective real coating diameter is 248 mm
Coating uniformity: ±4%
Vacuum pump: TMP (Turbo Molecular Pump) and Rotary Pump
Mass flow control: MFC and Flow check
Main configuration:
Sputter Chamber: SiO2 + TiO2 + Sio2 (Total working chambers: 6)
Heating Chamber, Loading, unloading, Control panel, Utility Gauge, Panel, Emergency Button
Sputtering chamber configuration:
Cooling Plate
Magnet
Target: Reactive magnetron, Oxygen
Sputter Chamber
Heating chamber configuration:
IR lamp heater
Upper and lower heater
Control panel:
Main breaker
Emergency SW
Interlock release Plug
Vacuum gauge
Pirani Gauge (1, 2, 3; H, M, Low vacuum check)
Bourdons Vacuum Gauge
Pulse generator:
Power Supply: DC: 16 ea
Power Breaker: 16 pcs.
SHIBAURA BM-1400PC是玻璃、金属、塑料等材料的高精度蚀刻器，旨在满足最大、最复杂项目的需求。BM-1400PC具有独特的高精度阵列功能,非常适合最特殊的细节作业。它具有现代组件、内置软件、传感器和自动化功能。结合精确的工作流管理功能,SHIBAURA BM-1400PC是创建独特而复杂的模式的无与伦比的解决方桉。BM-1400PC由坚固的镀金基板构成，与先进的晶圆加工系统相连。反应室极为稳定，在整个加工周期中提供了非常一致的环境，进一步提高了蚀刻精度。其先进的温度和流量控制系统提供一致的结果，可以满足低热和高热应用的要求。其风冷基板，加上其自动化和软件，允许更少的化学和更高质量的蚀刻。SHIBAURA BM-1400PC与大量化学蚀刻剂兼容，能够调节包括蚀刻剂浓度、流体流量、温度和pH等参数。它还设计了安全系统，确保蚀刻过程中的最大安全。该机器还提供高效的工作流调度、闲置时间和资源管理以及数据收集和分析。此外，BM-1400PC能够进行RIE（反应性离子蚀刻），并为不同的蚀刻结果（如沉积、蚀刻、电源、气体等）支持广泛的气体选择。该机采用全彩10.4英寸液晶显示屏,并提供多种配件,包括不锈钢机柜、冷却分析系统和其他组件。总体而言,SHIBAURA BM-1400PC是一款健壮、先进的蚀刻器和asher,非常适合在多种材料上创建复杂的图桉。它能够提供精确和可靠的结果，有助于确保项目达到尽可能高的标准。
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