二手 SHIBAURA CDE 7-3A #9226075 待售

SHIBAURA CDE 7-3A
ID: 9226075
晶圆大小: 6"
优质的: 1989
Etcher, 6" 1989 vintage.
SHIBAURA CDE 7-3A是一种高度可靠和通用的蚀刻和灰化设备。为提高设备微加工的质量和产量提供了可靠、高效的蚀刻和灰化。该系统可处理多层材料,厚度可达25微米。它配备了快速扫描点1微制造和快速扫描点2高精度图样两种像素映射技术。CDE 7-3A是一个易于使用的单元,它提供单一设置,这一过程大大提高了生产效率。机器配备了自动驱动功能,可在重复处理步骤时实现自动顺序蚀刻和灰化。此外,它还提供了用户可选择的功能,这对用户有利,允许他们为每个层选择最有效的参数。SHIBAURA CDE 7-3A还配备了触摸屏彩色显示器,显示处理步骤和参数。此用户友好功能有助于简化各种蚀刻和灰化过程的设置和控制操作。此外,还包括一个用于蚀刻基板的自动进纸器,它允许高质量和吞吐量。在电力需求方面,CDE 7-3A配备了使用交流或直流电压的三相电源。该工具利用直接驱动的微波等离子体源进行蚀刻,利用高压直流等离子体源进行灰化。这种电源组合产生了独立于基材和层厚度的高蚀刻精度。SHIBAURA CDE 7-3A是一种可靠的蚀刻和灰化设备,非常适合生产高质量的设备。它配备了先进的功能,使蚀刻和灰化工艺高效,并提供了一系列的电源,以确保最高的精度和准确性。此外,触摸屏显示器支持简单的设置和控制操作,而自动进纸器可确保高质量和高吞吐量。
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