二手 SHIBAURA CDE 7-3A #9226076 待售

SHIBAURA CDE 7-3A是一种用于反应性离子蚀刻（RIE）和等离子体灰化应用的蚀刻器/灰化器。该单元配备了直径12英寸的涡轮泵，提供100 nm/min的最大蚀刻/ashing速率。它还配备了低噪声射频电源，在13.56MHz频率下提供1-600 W的功率。此外，CDE 7-3A具有一个真空室，其内部空间为11英寸-L x 7.5英寸-W x 7.5英寸-H，并且该单元能够在10-4帕的真空环境下运行，该单元包括气体剂量和供应系统，从而能够准确控制反应条件。低噪声射频电源、气体剂量和供应系统、涡轮泵的结合，可实现精密蚀刻和灰化。SHIBAURA CDE 7-3A还具有可变压力传感器、颗粒状屏蔽层和加热元件范围，可分别用于选择最佳压力，抑制二次反应，实现高温。此外，该单元拥有存储配方和工艺条件的内存。蚀刻器/asher还得益于直观的液晶触摸屏，用于控制配方内存之外的处理参数。总体而言,CDE 7-3A为蚀刻和灰化材料提供了可靠的平台,最大蚀刻/灰化速率为100 nm/min,最大操作压力为10-4 Pa。