二手 SHIBAURA CDE-73 #9137189 待售

SHIBAURA CDE-73 蚀刻器/asher是一种高性能、综合性、自动化的湿蚀刻设备,设计用于半导体、MEMS和生物医学行业。该蚀刻系统具有很高的均匀性、精确度和可靠性。该单元由不锈钢构成，可用于任何蚀刻工艺，包括SiO2、多晶硅、金属、氮化物和SiO2/Poly堆栈。设有换热器、气体处理机、加工站.高性能换热器提供快速的热响应和更高的温度控制精度，允许精确蚀刻。气体处理工具包括氦气安全阀、金属自动抽头、熄火阀和排气阀。该加工站设有九个加工船港口，最多可同时使用八个加工船。凭借其3-4升容量的工艺罐，CDE-73提供了广泛的工艺参数，如压力、温度、气体流量和蚀刻速率。该资产还通过创新的冷气灭火模式提供了更大的过程控制和稳定性，这有助于减少气泡。SHIBAURA CDE-73具有良好的安全功能,包括可调节的盖子、控制面板保护装置和减音装置。它还配备了综合排气设备和气流探测器，有助于监测清洁过程，并在压力或气流水平异常时提醒操作员。所有这些功能齐心协力打造尖端蚀刻系统，为用户提供精确的蚀刻能力、提高的安全性和高均匀性。这种用户友好的蚀刻装置可以帮助用户快速、轻松地生产出优质晶片,并减少停机时间。CDE-73的可靠性、准确性和精确度使其成为蚀刻需求的绝佳选择。