二手 SHIBAURA CDE 80 #293609517 待售
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ID: 293609517
优质的: 1995
Etcher
SMIF Loader
Controller
CRT
Keyboard
SUS Front panel
Ni coated Al Side panel
Pump interface
Quartz tube protection
ESC Universal chuck
Water auxiliaries, 8"
Gas system:
(5) TYLAN FC-2900 Mass Flow Controllers (MFC)
Gases: CF4, C12, N2, 02, NF3
Does not include dry pump
1995 vintage.
SHIBAURA CDE 80是专门为处理各种应用中的样品而设计的蚀刻器/灰化器,包括光刻、电沉积、蚀刻、灰化和其他技术。该工具拥有最大的蚀刻室之一,与更传统的蚀刻解决方桉相比,提供了优越的样品处理和更多的能力。SHIBAURA CDE-80具有上下双室外壳。顶部腔室设计用于基板装卸,底部腔室用于灰化和蚀刻。基材的尺寸可以从小块到更大、质量更高的样品不等。腔室的墙壁由耐用的不锈钢制成,能够抵抗各种腐蚀性和磨蚀性损伤,确保了最高质量的效果。CDE 80利用高频磁控管射频电源,能够最大限度地提高蚀刻工艺的精度和精度。该设备还有一个专有的热管理系统,以确保所有的蚀刻和灰化参数,如温度和压力,成功地保持最佳蚀刻结果。它还具有若干可利用的功能和可移植性。例如,它能够从计算机单元控制蚀刻过程,从而允许最佳控制精度。此外,它还具有可选的温度和压力读数,以及多种安全功能,如密封密封和超过电流限制器。CDE-80还有一个真空泵和维护自由的设计,允许最大程度的可靠性。最重要的是,它附带的软件可帮助用户设计和监控其蚀刻和灰化参数,确保其过程保持优化。总体而言,SHIBAURA CDE 80是一款用途广泛的蚀刻器/Asher,可在各种应用中提供可靠、准确和精确的结果。由于这台机器可以处理各种不同的样本量,因此特别适合研究人员或寻求灵活蚀刻解决方桉的制造专业人员。
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