二手 SHIBAURA CDE 80 #293819864 待售
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SHIBAURA CDE 80是一种先进的蚀刻/asher设备，非常适合光刻和微电子工业的应用。它旨在提供高度的准确性、精确度和可靠性,同时仍保持成本效益。SHIBAURA CDE-80 蚀刻器/asher使用基于电感耦合等离子体（ICP）的系统来创建高速、低成本、高精度蚀刻和灰化的电离场。ICP单元利用高频发生器和定向ICP源在低压和低温下生成等离子体光束，同时使用单个电感。ICP机器使高速和精确处理更大的区域成为可能。CDE 80旨在提供高达每小时二十个晶圆的生产率，最小模具尺寸为2.5微米。这台机器能够持续蚀刻直径达四百毫米的基板，并且可以容纳各种基板。蚀刻是在屏蔽环境中进行的，屏蔽环境结合了既卫生又隔音的外墙，而内部部件则保持在受控的温度、湿度和大气环境中。CDE-80能够在蚀刻过程中防止大气氧化和污染。它使用一个物体容器，以确保蚀刻表面被适当覆盖，并且能够在各种温度下操作，这意味着它可以处理各种材料。此外，该工具可以配置为满足特定需求，从半导体到硬颗粒应用，其微调蚀刻工艺确保了出色的分辨率和低颗粒污染。此资产非常可靠,维护成本低。SHIBAURA CDE 80设计了多种安全系统，包括压力锁门、自动盖子开闭制导模型以及雾气除尘设备。这些功能和更多功能使SHIBAURA CDE-80需要低成本、高精度和可靠操作的蚀刻应用的绝佳选择。
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